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陈志忠:相伴半导体 一心为强国
发布日期:2019-02-26 来源:团结报
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1月8日,中共中央、国务院在人民大会堂隆重举行国家科学技术奖励大会。九三学社社员陈志忠荣获国家技术发明二等奖。让陈志忠走上国家级科技奖励舞台的这个项目,名叫氮化物半导体大失配异质外延技术。

今天大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数码相机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。以氮化镓(GaN)为代表的第三代半导体材料及器件的开发是新兴半导体产业的核心和基础,其研究开发呈现出日新月异的发展势态。

氮化镓半导体的问题是价格昂贵,因为它的生长(外延)模板——也就衬底部分如果用氮化镓——一片就要2万元。2000年,美国人先尝试了用蓝宝石做图形衬底(PSS),也就是异质材料,一片仅需100多元,但是效果还不是很理想。

2004-2006年,北京大学开始与中科院半导体所合作,也开始尝试PSS技术的应用研究,当时的PSS模板是从韩国一个厂家买来的,PSS性能还没有不经任何加工的光板蓝宝石性能好。陈志忠认为如果采用合适的工艺和刻蚀方法预加工蓝宝石衬底,做出来的性能也不会比同质衬底性能下降太多,通过几年的努力,真的收获了成功。

2009年,陈志忠到了东莞的中镓公司,次年赶上了韩国一家生产PSS的厂子经营困难甩卖设备,于是这套设备就到了陈志忠团队的手里。如获至宝的陈志忠和同事们结合科研摸索了几年,终于在2012年把PSS制备技术搞透了,填补了我国该领域一项重大的科技空白,完全摆脱了之前对国外的依赖。

新技术的换代是要看资本和市场的,不能一朝一夕完成的。“西方在科研体系上长期的积累和投入我们现在追赶还是很费劲的,但是我们可以玩我们自己的,搞差异化,我们不应该在什么领域都盲目的追随他们。” 陈志忠说。

陈志忠搞半导体不是偶然。在高中毕业准备报志愿的时候,恰好赶上苏联解体。目睹了一个曾经无比强大的国家备受欺凌的样子,陈志忠暗暗下了决心:决不让自己的祖国也遭受这样的苦难。

在年轻的陈志忠脑海里,让祖国强大最简单的办法有两种:最先进的武器,或者最高级的计算机。所以他填报了两个志愿,一个是核物理,一个是半导体。最终他以优异的成绩被南京大学录取,专业就是半导体。

身处半导体专业,陈志忠始终关注着国际上相关的科研成果,早在20世纪90年代初,氮化物半导体加工工艺中的选区外延技术就已经产生了,这一技术吸引了陈志忠的注意力。1997年,国内第一个LED(以氮化物半导体为基?。┰诒本┐笱笛槭依锓⒊隽斯?,于是陈志忠毕业后毫不犹豫的选择了当时国内氮化物半导体研究最领先的北京大学做博士后,博士后出站留校至今。一份执着的理想让陈志忠牵手氮化镓,与氮化镓的半生缘里更写着陈志忠的报国情怀。

(本文转载自《团结报》2019年2月26日,作者:冯祎凡)

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